羅茨旋片真空泵機(jī)組具有真空度高，抽速范圍廣等特點(diǎn)，它較適用于抽除干燥、潔凈的氣體。羅茨旋片機(jī)組是由羅茨泵做為主抽泵，單級或雙級旋片真空泵做為前級泵組成的抽氣機(jī)組。當(dāng)帶有氣鎮(zhèn)裝置時(shí)，也可以抽除含少量水蒸汽的氣體。
羅茨旋片真空泵機(jī)組主要有以下性能特點(diǎn)：
1、羅茨旋片真空機(jī)組是由羅茨真空泵做為主抽泵，單級或雙級旋片泵做為前級泵的低、高真空獲得設(shè)備，整套機(jī)組安置在一個機(jī)架上，配以管道、閥門和電器操作控制箱，并還配有冷卻水管系統(tǒng)，機(jī)組結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便，該真空機(jī)組真空度高、噪音低、可持續(xù)工作。
2、羅茨旋片真空機(jī)組各泵之間的名義抽速之比一般在4∶1至10∶1之間，為了防止前級旋片真空泵停機(jī)返油，在前級管道上裝有電磁放氣閥，其動作與前級旋片真空泵的電機(jī)聯(lián)動，從而保證了該泵正常高效地工作。
3、為了提高真空機(jī)組的抽氣性能，達(dá)到較高的極限真空和改善在低入口壓力時(shí)的抽速特性及對大型真空機(jī)組配用較小規(guī)格的前極泵，羅茨旋片真空機(jī)組也可根據(jù)客戶要求用二級羅茨真空泵串聯(lián)成三級機(jī)組。
羅茨旋片泵真空機(jī)組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設(shè)備的預(yù)抽、電真空半導(dǎo)體等行業(yè)中抽除密閉容器中含氧不高的、無爆炸性的、對金屬無腐蝕性的、與泵油不會起化學(xué)反應(yīng)。
羅茨旋片真空機(jī)組適用于抽吸空氣及其它無可凝性、無腐蝕性的氣體，廣泛應(yīng)用于需要大抽速和需要獲得低、高真空的各種真空系統(tǒng)。例如：真空冶煉、鋼液脫氣、真空燒結(jié)、大型空間模擬試驗(yàn)中的動態(tài)真空的獲得，電力電容器、變壓器真空浸漬處理，日光燈管、燈泡自動生產(chǎn)線上的排氣，保溫瓶膽的連續(xù)排氣，真空鍍膜設(shè)備中的預(yù)抽，鎂還原過程中的抽氣，單晶硅提煉過程中的除氣等等。
