羅茨真空泵是在較低入口壓力時具有較高的抽氣速率,但它不能單獨使用,必須有一臺前級真空泵串聯(lián),待被抽系統(tǒng)中的壓力被前級真空泵抽到羅茨真空泵允許人口壓力時,羅茨真空泵才能開始工作,并且在一般情況下,羅茨真空泵不允許高壓差時工作,否則將會過載和過熱而損壞,因此使用羅茨真空;泵時必須合理地選用前級真空泵,安裝必要的保護設(shè)備。
羅茨真空泵一般為油封機械泵,但如果極限壓力要求不高時,可選用其他形式的粗真空泵作為前級泵。特別在抽除有大量水蒸汽的氣體時,選用水環(huán)真空泵作為前級泵是很理想的,當(dāng)然所能達到的極限壓力要差些。